東芝 次々世代以降のフラッシュメモリ技術候補を発表　6/13

フラッシュメモリの生みの親ともいえる東芝が、新型３次元メモリセルアレイを発表。まだ研究段階のようですが、無事製品化できれば、フラッシュメモリ容量を爆発的に増やすことのできる画期的なものです。
　→　http://pc.watch.impress.co.jp/docs/2007/0612/toshiba.htm

最近はフラッシュメモリの用途が猛烈に拡大中。次期MacBookはSSD搭載になるのではという噂もありますし、ボリューム的には増え続ける携帯の内蔵メモリや、ビデオカメラの記録メディア、カーナビ、目新しいところでは先日のASUS 199ドルノートなどもストレージはフラッシュのみで構成されています。

以上のように需要は高まるばかりで、Samsung、Hynix、東芝、Intelなどが大増産に動いていますが、それでも足らないかもしれません。そこで上手く工夫して同じチップ面積で容量を上げようというのが目下のトレンド。東芝がリードする多値品（MLC）などがその最たるものです。多値技術を使うと、単純に同じチップで容量が2倍（4値で）になります。

東芝は、次世代については容量3倍の8値品（3bit/cell）で構築するようですが、その次となるとなかなか難しい。先日発表された中期計画では16値（4bit/cell）でいきたいと言っていましたが、新型のメモリアレイが16値の代打的存在となるのか、はたまた16値の次にこれをもって来るのか。いまのところはまだ手探りの状況のようです。

この複雑な立体構造ですが、リソグラフィの回数は増えないそうです。蹴茶は生物・化学選択なので、物理は詳しくないのですが、一回の露光で下まで感光できるのでしょうか。そしてこんな立体構造の隙間をどうやって綺麗にエッチングするのか、不思議だらけです。技術者の方々の発想は凄いものです。

＃東芝中期計画では医療機器についても語っていますが、次世代CTは256列のマルチスライスと言っていますね。獣医分野はまだ4列マルチとかですが、凄すぎ（＾＾；